溅射靶材ITO靶材的生产工艺ITO靶材的生产工艺可以分为3种：热等静压法(HIP)、溅射靶材热压法(HP)和气氛烧结法。各种生产工艺及其特点简介如下：热等静压法：ITO靶材的热等静压制作过程是将粉末或预先成形的胚体，在800℃～1400℃及1000kgf/cm2～2000kgf/cm2的压力下等方加压烧结。热等静压工艺制造产品密度高、物理机械性能好，但设备投入高，生产成本高，产品的缺氧率高。背靶的选择对材质的要求：一般选用无氧铜和钼靶，厚度在3mm左右导电性好：常用无氧铜，无氧铜的导热性比紫铜好；强度足够：太薄，尾气收受系统，易变形，尾气收受系统工艺，不易真空密封。结构要求：空心或者实心结构；厚度适中：3mm左右，尾气收受系统哪家好，太厚，消耗部分磁强；太薄，容易变形。铟焊绑定的流程1.绑定前的靶材和背板表面预处理2.将靶材和背板放置在钎焊台上，升温到绑定温度3.做靶材和背板金属化4.粘接靶材和背板超纯金属，指的化学杂质和物理杂质(晶体缺陷)含量的金属。目前主要以化学杂质的含量为标准，常以杂质在金属中总含量的百万分之几表示。超纯金属是相对高纯度的金属，一般指金属纯度达到纯度9以上的金属，物理杂质的概念才是有意义的。材料的纯度对其性能，特别是微电子学、光电子学性能影响很大，现代高技术产业要求制备出超纯金属以利于制作器件。尾气收受系统工艺-尾气收受系统-沈阳东创【精益求精】(查看)由沈阳东创贵金属材料有限公司提供。沈阳东创贵金属材料有限公司在冶炼加工这一领域倾注了诸多的热忱和热情，东创贵金属一直以客户为中心、为客户创造价值的理念、以品质、服务来赢得市场，衷心希望能与社会各界合作，共创成功，共创辉煌。相关业务欢迎垂询，联系人：赵总。)